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> 크린룸이란? > 크린룸의 규격
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Fed, Std. 209E의 개요(Outline of Fed. Std. 209E)
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Class의 상한치는 각 Class이름이 된다.
상한치는 지정입 이상의 농도 (단위 체적당 입자수)로 표시된다.
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| 항목 |
내용 |
| 단위 |
Miter법을 주로하고 영국단위를 병용해서 기록 |
| CLASS표시 |
0.5㎛이상의 입작수를 10/㎥로 하고 ,X를 Class표시로 했다. Miter법
표시임을 명확히 하기 위해 M을 부가했다.
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| CLASS분류 |
209D Class 1보다 청정도가 높은 Class M1 및 Class
100,000보다 청정도가 낮은 Class M7을 추가했다. |
| 미소입자계측 |
계측에 CNC의 사용을 가능하게 하고, 그 경우 계측입자 지름을 0.02㎛이상으로
했다. 이 경우 표시는 Class U(X)로 한다.
U = 미소입자 계측표시
X = 최대 허용입자농도 P/㎥ |
| 표준측정입자 |
0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 5 Micron을 기준으로하나, 그외의
입자 지름을 사용해도 좋다. |
| 샘플링 |
계측장소에 따라 다른 샘플링 유량에 의해 계측해도 좋으나, 입자농도는 개/단위체적으로
표시할것.
샘플링 점이 10군데 이상인 경우 측정치는 단순평균 으로 괜찮다. Class M2.5보다 청정도가
높은 경우에는 계측 시간단축을 위해 연속 샘플링 해도 좋다. |
| 부록 |
209D의 관련규격, 용어는 삭제되고 등속흡인법, 초미소립자 농도 측정법,
Class M2.5보다 청정도가 높은 경우의 연속 샘플링법의 3항목이 추가된다. |
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| Class
표시
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Class 상한치 |
| 0.1㎛
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0.2㎛
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0.3㎛
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0.5㎛
|
5㎛
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| 단위체적 |
단위체적 |
단위체적 |
단위체적 |
단위체적 |
| Meter
법
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영국
단위
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(㎥)
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(ft³)
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(㎥)
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(ft³)
|
(㎥)
|
(ft³)
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(㎥)
|
(ft³)
|
(㎥)
|
(ft³)
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| M1
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- |
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
- |
- |
| M1.5
|
1 |
1,240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
- |
- |
| M2 |
- |
3,500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
- |
- |
| M2.5 |
10 |
12,400 |
350 |
2,650 |
75.0 |
1,060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
- |
- |
| M3 |
- |
35,000 |
991 |
7,570 |
214 |
3,090 |
87.5 |
1,000 |
28.3 |
- |
- |
| M3.5 |
100 |
- |
- |
26,500 |
750 |
10,600 |
300 |
3,530 |
100 |
- |
- |
| M4 |
- |
- |
- |
75,700 |
2,140 |
30,900 |
875 |
10,000 |
283 |
- |
- |
| M4.5 |
1,000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
35,300 |
1,000 |
247 |
7.00 |
| M5 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
100,000 |
2,830 |
618 |
17.5 |
| M5.5 |
10,000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
353,000 |
10,000 |
2,470 |
70.0 |
| M6 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
1,000,000 |
28,300 |
6,180 |
175 |
| M6.5 |
100,000 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3,530,000 |
100,000 |
24,700 |
700 |
| M7 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
10,000,000 |
283,000 |
61,800 |
1,750 |
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Clean Room의 기류속도 선택에 관한 일반적인 규칙을 나타낸다.
기류속도는 (1)평균속도(m/sec or ft/min) 또는 (2)시간당 환기횟수(횟수/hour)로 규정된다.
| Class |
기류형태 |
평균기류속도1 |
시간당환기2 |
M7&M6.5(Class 100,000) |
NM |
.005- .041m/sec (1-8ft/min) |
5 - 48 |
M6&M5.5(Class 10,000) |
NM |
.051- .076m/sec (10-15ft/min) |
60 - 90 |
M5&M4.5(Class 1,000) |
NM |
.127- .203m/sec (20-40ft/min) |
150 - 240 |
M4&M3.5(Class 100) |
UNM |
.203- .406m/sec (40-80ft/min) |
240 - 480 |
M3&M2.5(Class 10) |
U |
.254- .457m/sec (50-90ft/min) |
300 - 540 |
M2&M1.5(Class 1) |
U |
.305- .457m/sec (60-90ft/min) |
360 - 540 |
M1 Cleaner |
U |
.305- .508m/sec (60-100ft/min) |
360 - 600 |
(U=단일 방향류 N=비단일 방향류 M=혼류)
1. 평균기류속도는, 일반적으로 단일 방향류(층류)경우에 이용한다.
2. 시간당 환기 횟수는, 다음의 식에 의해 산출된다.
| 시간당 환기 횟수[횟수/hr]= |
평균 기류 속도 (m/sec)×토출면적(m2)×3,600sec |
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| 실내용적(m3) |
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| 항
목 |
내
용 |
| 출입구 |
- 입구, 출구는 최소로 하고 따로 생각해야 한다.
(특히 Air Shower 설치시)
- 직접 외기에 닿지 않도록 할것 (Air 락룸)
- 위치는 하류로 한다.(특히 크로스플로어)
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| 갱의실 |
- 갱의실의 공기량은 많이 취할 것.
- 세면대를 부착시키고, 사람이 많은 경우는 음료수를 준비.
- Clean Room간은 적어도 이중문으로 할 것.
(Air Shower 장치 설치)
- 내부와의 통신을 가능하게 할 것.
- 필요하다면 휴식실을 설치한다.
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반 출
반 입 |
- 가능한 한 Pass Box를 이용(부품)
- 반입구를 부착시킨다.(대형장치)
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| 실내배치 |
- 최소로한다. 단순하게 한다
- 관리사무소를 외부에 둔다. 연락법 고려.
- 확장계획
- 사람의 이동을 최소로 한다.
- 청정기류 방향과 작업위치
- 발진 작업에는 칸막이, 국소배기, Return Duct로 대책.
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| 실내설비 |
- 배선, 관 Duct 노출은 최소로 한다.
- 조명기구는 가능한한 천장안으로.
- 비상구, 화재경보, 소화기, 정전, 유독가스
- 인터폰, 전화
- 청소
- 입자농도, 온도, 습도기록
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